Taylor Hobson Talysurf CCI

Zastosowanie urządzenia:

Mikroskop interferencyjny Taylor Hobson Talysurf CCI przeznaczony jest do pomiaru mikrogeometrii powierzchni. Oprogramowanie pozwala na obróbkę, analizę i wizualizację danych pomiarowych, umożliwia wyznaczenie szeregu znormalizowanych parametrów chropowatości w przekroju i na powierzchni. Może zostać wykorzystane przy pomiarach mikroobiektów takich jak soczewki, struktury krzemowe i wiele innych.

Postawowie parametry urządzenia:

Mikrointerferometr Taylor Hobson Talysurf CCI pracuje w świetle o szerokim spektrum. Działa na zasadzie skanowania powierzchni, z detekcją pozycji za pomocą prążka zerowego rzędu interferencyjnego. Pomiar wykonywany jest z rozdzielczością w osi Z: 0,01 nm a w osiach X i Y od 0,4 do 0,6 um. Powtarzalność wyznaczenia powierzchni może osiągnąć 0,02 nm. Zastosowano w nim interferometr Mirau.
Wykonawca serwisu